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    非標陶瓷件都包括哪些,各有什么作用?

    非標陶瓷件都包括哪些,各有什么作用?非標陶瓷件有陶瓷螺絲、陶瓷螺母、陶瓷高壓帽、陶瓷螺帽、陶瓷棒等。
    陶瓷棒:
    因各個客戶機臺使用上的不同,因此會延伸出多種不同外觀大小的陶瓷棒。這個部分皆可根據各戶的需求進行生產。
    陶瓷螺絲
    半導體以及光電業機臺設備因會需使用酸堿性較高的腐蝕性化學藥劑,機臺內使用之螺絲也需要考慮到是否可以抗酸堿腐蝕,故許多機臺內的螺絲都采用陶瓷螺絲。

    聚焦環
    主要用在半導體以及光電業蝕刻機臺設備,所以機臺亦長期與化學藥劑接觸,故此零件大部分廠商會使用陶瓷或是石英,石英部分較陶瓷不耐碰撞,石英碰撞后容易造成表免剝落狀態,上機會造成問題。故目前所知采用陶瓷的廠商已經越來越多。

    注入器
    在半導體機臺設備中扮演著化學氣體輸出入的角色,因為他長時間都需接觸化學氣體,故他必須要有耐酸堿耐腐蝕的功能,以免因為他的腐蝕造成機臺設備的損傷。工程陶瓷零件的耐腐蝕抗酸堿剛好適合使用。

    上下保護環
    陶瓷本身無磁性之功能正好符合半導體機臺內保護環防止雜訊干擾使用,因機臺所需的尺寸大小不同,尺寸部分也會因此不同。這個部分皆可根據各戶的需求進行生產。

    機械手臂
    因半導體機臺設備內常使用化學藥劑,機臺設備所生產之產品又必須要可以轉送下一站別,故有了機械手臂這項產品。為了避免機臺內的化學藥劑對機械手臂產生化學反應,許多廠商已經開始改用陶瓷所生產的機械手臂。

    鐘罩
    會用在反應器系統內,且電漿或是化學氣體有時會在此停留,故在鐘罩的材質使用上需特別注意耐酸堿耐腐蝕,因此目前有許多半導體設備上所使用之鐘罩采用陶瓷材質,鐘罩之外表也可以配合另外覆蓋其他金屬材質?;虮舅窘饘夔娬挚勺鎏沾杀砻嫣幚?。

    壓緊環
    用于光電業前段制程機臺設備中,長期會接觸化學藥劑,陶瓷材質可避免長期接觸化學藥劑產生腐蝕的現象。

    陶瓷長板/邊條/檔板/蓋板
    多用于LCD蝕刻機臺設備,機臺需長期與化學藥劑接觸,中間孔洞部分是需鎖螺絲,所以它的材質多數必須考量可耐酸堿,抗腐蝕,故目前大多數都采用陶瓷材質。因應機臺的需求會產生很多不一樣型式,故我們樣式的陶瓷陶瓷長板/邊條/檔板/蓋板。提供客戶客制化的服務,可配合生產各式陶瓷或金屬長板陶瓷表面處理。

    陶瓷絕緣體/防護蓋
    會用于LCD蝕刻機臺設備,機臺需長期與化學藥劑接觸,因配合機臺制程別大小不同,如尺寸較小可做成一體成形,如此寸較大則會制作分段制作截取部分分段圖片如左圖。

    天板
    用于LCD蝕刻機臺設備,機臺需長期與化學藥劑接觸,天板的大小會因為設備的不同而有所不同,這邊可以配合客戶需求進行各種尺寸規格的生產。

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